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超净工作台的结构

2019-07-12 点击数:67
    超净工作台目前在各个领域已经得到了应用,对于洁净度要求比较苛刻的航天航空,超净工作台的重要作用尤其的明显!

    空气的过滤生产环境最初是由航空航天行业使用的。即使是微小的缺陷也会导致卫星故障,因此NASA及其服务提供商建造了带有过滤天花板的夹层和过滤墙的车间。它还率先提出了许多基本的污染控制概念,包括从工作人员干净的衣服到洁净室使用的管理方法。

    半导体工业在这方面采用了很多技术,但其中一个主要问题是,当小型加工车间扩大为一个工人较多的大型车间时,很难保持其固有的清洁。在半导体工业早期,过滤天花板夹层和墙壁的方法演变成超干净的工作台法。这主要是将过滤器安装在一个工作台上,使用一种不掉下来的材料。在工作台外,晶片被储存和运输在一个密封的盒子里。

    在一个大型车间里,一个连续的工作台(叫做工作层流罩)形成了一个加工区域,使晶片按工序的顺序通过,不会暴露在空气中。清洁工作盖中的过滤器是一种高效的粒子收集过滤器。这些过滤器是由脆性纤维组成的,根据手风琴的叶子包含许多孔和折叠。由于孔密度高,过滤层面积大,大量空气低速流过。

    由于低速空气可以避免空气流动,有利于工作台的清洁,也需要操作人员在舒适的环境中工作。典型的空气流量为每分钟90至100英寸。HEPA过滤器可达到99.99%或更高的过滤效率,可用于三种净化方法。

    通常,高效过滤器安装在超干净工作台的顶部。风机先通过前过滤器吸入空气,然后通过HEPA过滤器吸入空气,然后以均匀和平行的方式流出,改变工作台表面的方向并流出工作台。安装板可以控制晶圆表面的气流方向,通常称为空气层流垂直工作台(VLF)工作台,这是以空气流动方向命名的。
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